보유장비 상세

○ 시료실사이즈 : 내경 120mm, 깊이 90mm

○ Annode : 직경 110mm

○ Hollow Cathode : 내경 105mm, 깊이 37mm

○ 고압발생장치 : DC800v 고정, 부하전류 Max. 25mA

○ 진공배기장치 : 배기속도 50L/min

○ Vapor 가스압력조절 : needle valve

○ 진공도 지시 : 게이지

○ Os 가스 주입 : HV Start로 연동 주입